Внешний вид | Прозрачная от бесцветного до светло-желтого цвета жидкость |
Массовая доля основного вещества, %, не менее | 99, 6 |
Суммарная массовая доля примесей, включая неидентифицированные, %, не более | 0,4 |
В том числе: | |
метилтрихлорсилана, %, не более | 0.1 |
диметилдихлорсилана, %, не более | 0.1 |
метилдихлорсилана, %, не более | 0.1 |
неидентифицированных органических примесей, %, не более | 0.2 |
хлористого метила, %, не более | отсутствие |