| Внешний вид | Прозрачная от бесцветного до светло-желтого цвета жидкость |
| Массовая доля основного вещества, %, не менее | 99, 6 |
| Суммарная массовая доля примесей, включая неидентифицированные, %, не более | 0,4 |
| В том числе: | |
| метилтрихлорсилана, %, не более | 0.1 |
| диметилдихлорсилана, %, не более | 0.1 |
| метилдихлорсилана, %, не более | 0.1 |
| неидентифицированных органических примесей, %, не более | 0.2 |
| хлористого метила, %, не более | отсутствие |