| Внешний вид | Прозрачная от бесцветного до светло-желтого цвета жидкость  | 
| Массовая доля основного вещества, %, не менее | 99, 6 | 
| Суммарная массовая доля примесей, включая неидентифицированные, %, не более  | 0,4 | 
| В том числе: | |
| метилтрихлорсилана, %, не более | 0.1 | 
| диметилдихлорсилана, %, не более | 0.1 | 
| метилдихлорсилана, %, не более | 0.1 | 
| неидентифицированных органических примесей, %, не более | 0.2 | 
| хлористого метила, %, не более | отсутствие |