| Внешний вид | Прозрачная бесцветная или окрашенная до светло-желтого цвета жидкость |
| Массовая доля основного вещества, %, не менее | 99, 90 |
| Суммарная массовая доля примесей, %, (метилтрих- лорсилана, этилдихлорсилана, 2,2,3-триметилбутана, 2,4-диметилпентана), не более | 0,1 |